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本文选用双三次均匀基B样条曲面为数学漠型，着重讨论了B样条曲面在不同边界条件下顶点反算和曲面拼合问题。
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装置采用电视摄象机作为图像信息传感器，模拟量积分压缩数字量，微处理机精确计算硅片和模版的偏移量并控制工作台作微小调整。
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Finally, the control points of mask surfaces and control points of the whole surface are updated.
最后更新整个曲面的相应控制点，实现边输入、边逼近，即增量式曲面逼近。
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